Product list製品表 -フォトレジスト用樹脂-

フォトレジスト用樹脂
品番 外観 軟化点(℃) 重量平均分子量 タイプ 特徴
LF-100 粒状 95~100 約5000 メタパラクレゾールノボラック アルカリ溶解性:中程度
LF-110 粒状 100~110 約9000 メタパラクレゾールノボラック アルカリ溶解性:低~中程度
LF-120 粒状 110~120 約20000 メタパラクレゾールノボラック 硬度大
LF-200 粒状 90~100 約20000 オルトクレゾールノボラック 硬度大
LF-400 粒状 77~82 約600 パラクレゾールノボラック 低分子量
LF-500 粒状 98~104 3000〜5000 フェノールノボラック アルカリ溶解性大調整用
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