フォトレジスト用樹脂 品番 外観 軟化点(℃) 重量平均分子量 タイプ 特徴 LF-100 粒状 95~100 約5000 メタパラクレゾールノボラック アルカリ溶解性:中程度 LF-120 粒状 110~120 約20000 メタパラクレゾールノボラック 硬度大 LF-400 粒状 77~82 約600 パラクレゾールノボラック 低分子量 LF-500 粒状 98~104 3000〜5000 フェノールノボラック アルカリ溶解性大調整用 トップページ 製品一覧表 製品表 フォトレジスト用樹脂